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                        主要技術指標
                        鍍膜時間設置: 1~0127 sec/ step
                        旋涂速度:0~ 2154 rpm
                        旋涂加速度:0 ~ 06423 rpm/s (空載)   
                        轉速穩定性:1 rpm
                        轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
                        鍍膜尺寸:φ10 ~ 583 mm                                1
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